“他開始笑我有些異想天開,我據(jù)理力爭(zhēng)最后他同意我?guī)讉€(gè)人獨(dú)自試驗(yàn),不過(guò)到最后還是他說(shuō)的對(duì),我們又集中力量開始攻關(guān)干式微影,白白浪費(fèi)了幾個(gè)月時(shí)間?!?br>
張文華說(shuō)道最后有些不好意思。
“其實(shí),你的研究方向是對(duì)的?!?br>
顧北突然說(shuō)出這句話,讓張文華吃了一驚:“你說(shuō)我的方向是正確?”
顧北點(diǎn)點(diǎn)頭:“我問(wèn)你,從理論上講用液體做介質(zhì)到底有沒(méi)可能攻克這個(gè)難題?”
“理論上說(shuō)是可行,但是實(shí)際遇到的問(wèn)題很多,除了我剛才說(shuō)的,還有折射指數(shù)大于1.65的流體滿足粘度、吸收和流體循環(huán)要求…….”張文華也不管顧北聽的懂聽不懂,又開始解釋起來(lái)。
“好了,不說(shuō)這個(gè)……”顧北打斷他的話,“明天我就找你劉所長(zhǎng),研發(fā)方向放到液體做介質(zhì)浸潤(rùn)式微影技術(shù)!”
顧北的語(yǔ)氣不容置疑。
雖然他聽不懂張文華說(shuō)的那些艱澀專業(yè)術(shù)語(yǔ),但是他記得很清楚,網(wǎng)上就說(shuō)ASML公司就靠這個(gè)所謂的“浸潤(rùn)式”技術(shù),打敗了尼康IBM等公司所謂干式微影技術(shù),成了光刻機(jī)的龍頭。
這實(shí)際上是一種研發(fā)路線選擇,一旦錯(cuò)了,滿盤皆輸!尼康IBM就是活生生的例子!
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